[发明专利]粒子传感器和用于感测流体中的粒子的方法在审
申请号: | 201710431950.3 | 申请日: | 2017-06-09 |
公开(公告)号: | CN107490536A | 公开(公告)日: | 2017-12-19 |
发明(设计)人: | T.考奇 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技德累斯顿有限责任公司 |
主分类号: | G01N15/06 | 分类号: | G01N15/06;G01N15/02 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人: | 申屠伟进,杜荔南 |
地址: | 德国德*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及粒子传感器和用于感测流体中的粒子的方法。各种实施例提供粒子传感器,所述粒子传感器包括第一载体,所述第一载体包括至少一个加热结构和光探测结构;设置在所述第一载体之上的至少一个间隔物结构;设置在所述至少一个间隔物结构之上的第二载体,所述第二载体包括发光结构;其中所述第一载体、所述第二载体以及所述至少一个间隔物结构被布置成提供用于流体流动的通道,其中所述发光结构被配置成向所述通道中发射光,并且其中所述光探测结构被配置成探测来自所述通道的光。 | ||
搜索关键词: | 粒子 传感器 用于 测流 中的 方法 | ||
【主权项】:
一种粒子传感器,包括:第一载体,所述第一载体包括至少一个加热结构和光探测结构,设置在所述第一载体之上的至少一个间隔物结构,设置在所述至少一个间隔物结构之上的第二载体,所述第二载体包括发光结构,其中所述第一载体、所述第二载体以及所述至少一个间隔物结构被布置成提供用于流体流动的通道,其中所述发光结构被配置成向所述通道中发射光,并且其中所述光探测结构被配置成探测来自所述通道的光。
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