[发明专利]一种利用电磁原理的压力传感器及其工作方法有效
| 申请号： | 201710406457.6 | 申请日： | 2017-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN107246928B | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 聂萌;夏云汉;杨恒山 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01L1/12 | 分类号： | G01L1/12;G01L9/16 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 211189 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种压力传感器，包括衬底、薄膜、永磁体、金属线圈和导体悬臂梁，永磁体固定连接在衬底的底面，衬底的上部设有空腔，薄膜生长在衬底的顶面，且薄膜覆盖在空腔的上方；金属线圈固定连接在薄膜的顶面，导体悬臂梁固定连接在衬底的顶面，且导体悬臂梁位于金属线圈上方。该压力传感器结构简单，且利用电磁原理实现压力测量，过程简单。同时，本发明还提供压力传感器的工作方法，易于实现。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 电磁 原理 压力传感器 及其 工作 方法 | ||
【主权项】：
1.一种利用电磁原理的压力传感器，其特征在于，该压力传感器包括衬底(1)、薄膜(2)、永磁体(3)、金属线圈(4)和导体悬臂梁(5)，永磁体(3)固定连接在衬底(1)的底面，衬底(1)的上部设有空腔(101)，薄膜(2)生长在衬底(1)的顶面，且薄膜(2)覆盖在空腔(101)的上方；金属线圈(4)固定连接在薄膜(2)的顶面，导体悬臂梁(5)固定连接在衬底(1)的顶面，且导体悬臂梁(5)位于金属线圈(4)上方；在工作时，当外界压力施加在传感器表面时，薄膜(2)发生弯曲，金属线圈(4)位置随薄膜(2)发生位移，导体悬臂梁(5)与金属线圈(4)之间的距离发生改变；金属线圈(4)位置发生位移，使得金属线圈(4)周围磁场发生变化，导体悬臂梁(5)产生感应电流；根据所述感应电流获取外界压力。
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