[发明专利]制备滤光片的方法有效
| 申请号： | 201710372420.6 | 申请日： | 2017-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN107065053B | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 杨伟;丁维红;肖念恭 | 申请（专利权）人： | 信阳舜宇光学有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;G02B1/11;C23C14/32;C23C14/08;C23C14/10 |
| 代理公司： | 北京谨诚君睿知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11538 | 代理人： | 陆鑫;延慧 |
| 地址： | 464000 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种制备滤光片的方法，包括步骤：(a)采用超声波清洗工艺清洗白玻璃；(b)采用镀膜设备对白玻璃进行预清洗；(c)在白玻璃的一个面上镀制红外截止膜层；(d)在白玻璃的另一个面上旋涂有机物形成旋涂层；(e)在旋涂层上镀制减反射膜层；其中，红外截止膜层的厚度为400‑680nm时，反射率＜2％。通过本方法制备的滤光片耐温性能更好，膜层致密性更好，旋涂层无黑点，结构更加稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 白玻璃 滤光片 制备 红外截止膜 镀制 超声波清洗 减反射膜层 镀膜设备 工艺清洗 耐温性能 反射率 有机物 预清洗 致密性 黑点 膜层 旋涂 玻璃 | ||
【主权项】：
1.一种制备滤光片的方法，包括如下步骤：（a）采用超声波清洗工艺清洗白玻璃；（b）采用镀膜设备对白玻璃进行预清洗，增加白玻璃附着力；（c）在白玻璃的一个面上镀制红外截止膜层；（d）在白玻璃的另一个面上旋涂有机物形成旋涂层；（e）在旋涂层上镀制减反射膜层；其中，红外截止膜层的厚度为400‑680nm时，反射率＜2%；所述（c）步骤中，采用离子源辅助镀膜，离子源的参数设定为以下数值或数值范围，![]()
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