[发明专利]用于对准电子元件与测试装置的方法及用于测试电子元件的设备有效

专利信息
申请号: 201710351998.3 申请日: 2017-05-18
公开(公告)号: CN108535625B 公开(公告)日: 2020-11-06
发明(设计)人: 郑志华;梁志雄;张雨时;刘启峰 申请(专利权)人: 先进科技新加坡有限公司
主分类号: G01R31/28 分类号: G01R31/28
代理公司: 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 代理人: 艾晶
地址: 新加坡义*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种用于自动对准多个电子元件与至少一个用于接收所述电子元件进行测试的测试装置的方法,包括:定义基准标记;相对固定成像装置定位可移动成像装置,使所述基准标记在所述可移动成像装置和所述固定成像装置的视场内;相对于所述至少一个测试装置中的每个测试装置,通过所述可移动成像装置确定所述测试装置和所述基准标记之间的第一偏移;相对于每个电子元件,通过所述固定成像装置确定所述电子元件和所述基准标记之间的第二偏移;以及根据所述第一偏移和所述第二偏移,实现每个电子元件与所述测试装置之间的对准。
搜索关键词: 用于 对准 电子元件 测试 装置 方法 设备
【主权项】:
1.一种用于自动对准多个电子元件与至少一个用于接收所述电子元件进行测试的测试装置的方法,所述方法包括:定义基准标记;相对固定成像装置定位可移动成像装置,使所述基准标记在所述可移动成像装置和所述固定成像装置的视场内;相对于所述至少一个测试装置中的每个测试装置,通过所述可移动成像装置确定所述测试装置和所述基准标记之间的第一偏移;相对于每个电子元件,通过所述固定成像装置确定所述电子元件和所述基准标记之间的第二偏移;以及根据所述第一偏移和所述第二偏移,实现每个电子元件与所述测试装置之间的对准。
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