[发明专利]X射线表征设备原位池联用的反应控制和质谱分析装置

摘要

本发明涉及一种针对X射线表征设备原位池联用的反应控制和质谱分析站，所述反应控制和质谱分析站包括反应气体成分控制模块及在线气体成分分析模块，发明内容还包括基于原有真空管线部分的改装，改装后的原有真空管线部分通过总排气口、原位反应池尾气口及原位反应池混气进样口与分析站连接，其改装特征在于，所述真空管线部分增加了质谱仪采样口和采样毛细管和控制阀。本发明具有如下优点：在质谱气体采样成分分析时可忽略的采样时间延迟，并达到了原位分析连续、实时和高时间分辨率的采样分析要求；在X射线表征设备的工作条件下，获得电子结构/晶体结构的同时，同步获得环境气体成分的精确信息，扩展了设备功能，实现了原位多维度表征。

主权项

一种针对X射线表征设备原位池联用的反应控制和质谱分析站，包括真空管线部分(2)，真空管线部分(2)包括总排气口(6)、原位反应池尾气口(7)及原位反应池混气进样口(8)，其特征在于，所述真空管线部分(2)还包括质谱仪采样口(9)，所述反应控制和质谱分析站还包括反应气体成分控制模块及在线气体成分分析模块，其中：在线气体成分分析模块经由质谱仪采样口(9)通过毛细管(11)对原位反应池尾气口(7)进行气体微量采样，在线气体成分分析模块包括质谱仪电四级杆(17)、分子泵组、针阀或高精度计量阀(16)，原位反应池(13)的原配机械泵(10)及分子泵组通过各自的抽气通道将采样气体自毛细管(11)抽出，被抽出毛细管(11)的气体一部分流向质谱仪电四级杆(17)，另一部分流入原配机械泵(10)，由针阀或高精度计量阀(16)调制流向质谱仪电四级杆(17)与流入原配机械泵(10)的气体流量的配比；反应气体成分控制模块混合气体供气气路、单一气体供气气路、气路切换单元及保压单元，混合气体供气气路及单一气体供气气路提供的两路气路通过气路切换单元切换，一路连接原位反应池混气进样口(8)，另一路与原位反应池尾气口(7)汇合后连接总排气口(6)，连接原位反应池混气进样口(8)的气路终端及连接总排气口(6)的气路终端通过各自的保压单元保压。