[发明专利]一种湿法制备圆角化金字塔的方法在审
| 申请号： | 201710335537.7 | 申请日： | 2017-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN107170845A | 公开（公告）日： | 2017-09-15 |
| 发明（设计）人： | 叶继春;王丹;曾俞衡;高平奇;廖明墩;韩灿;童慧 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | H01L31/0236 | 分类号： | H01L31/0236;H01L31/0747 |
| 代理公司： | 上海一平知识产权代理有限公司31266 | 代理人： | 马莉华,陆凤 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种湿法制备圆角化金字塔的方法。具体地，所述方法包括如下步骤1)提供圆角化处理液和具有金字塔结构的硅片；2)在所述圆角化处理液中湿法处理所述具有金字塔结构的硅片，得到具有圆角化金字塔结构的硅片，其中，所述圆角化处理液包含如下组分氢氟酸(HF)、硝酸(HNO3)和醋酸(CH3COOH)，其中，氢氟酸、硝酸和醋酸的体积比为1‑735‑10015‑120，醋酸在所述圆角化处理液中的体积含量为7‑77％。所述方法可有效圆角化金字塔，并降低所得产物的缺陷态。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 湿法 制备 角化 金字塔 方法 | ||
【主权项】：
一种湿法制备圆角化金字塔的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：1)提供圆角化处理液和具有金字塔结构的硅片；2)在所述圆角化处理液中湿法处理所述具有金字塔结构的硅片，得到具有圆角化金字塔结构的硅片，其中，所述圆角化处理液包含如下组分：氢氟酸(HF)、硝酸(HNO3)和醋酸(CH3COOH)，其中，氢氟酸和硝酸的体积比为1‑7：35‑100，醋酸在所述圆角化处理液中的体积含量为7‑77％。
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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