[发明专利]固晶机及其拾取键合装置

摘要

本发明公开了一种固晶机的拾取键合装置，包括驱动轴和固晶臂，固晶臂的另一端设置有能够吸取晶圆的吸取装置，吸取装置包括安装于固晶臂另一端的转盘、驱动转盘转动的驱动装置和安装于转盘的多个吸嘴，多个吸嘴围绕转盘的旋转轴线依次排列，且多个吸嘴的开口均沿转盘端面的半径向外设置，驱动装置能够驱动转盘转动以使多个吸嘴的开口依次竖直向下，且吸嘴的开口竖直向下时吸取或键合晶圆。在吸取和键合的过程中，通过旋转转盘，一次可吸取或键合多个晶圆，固晶臂摆动一次和静置消除振动的时间基本不变，但在一个固晶周期内能够完成多个晶圆的吸取和键合，提高工作效率。本发明还公开了一种包括上述拾取键合装置的固晶机。

主权项

一种固晶机的拾取键合装置，包括竖直设置的驱动轴(1)和水平设置的固晶臂(2)，所述驱动轴(1)连接所述固晶臂(2)的一端并能够带动所述固晶臂(2)旋转和上下移动，所述固晶臂(2)的另一端设置有能够吸取晶圆的吸取装置(3)，其特征在于，所述吸取装置(3)包括安装于所述固晶臂(2)另一端的转盘(31)、驱动所述转盘(31)转动的驱动装置和安装于所述转盘(31)的多个吸嘴(32)，多个所述吸嘴(32)围绕所述转盘(31)的旋转轴线依次排列，且多个所述吸嘴(32)的开口均沿所述转盘(31)端面的半径向外设置，所述驱动装置能够驱动所述转盘(31)转动以使多个所述吸嘴(32)的开口依次竖直向下，且所述吸嘴(32)的开口竖直向下时吸取或键合晶圆。