[发明专利]点阵式光电探测器

摘要

本发明提供了一种点阵式光电探测器，包含绝缘基板、金属层、第一透明导电氧化物层、绝缘层、呈点阵式的孔洞、孔洞内填充的砷化镓材料、第二透明导电氧化物层以及透明聚光凸点层，通过在绝缘层中点阵式的孔洞中设置光探测材料，然后通过明聚光凸点将光聚集到点阵式孔洞上，这样提升了传感器的灵敏度，同时能够充分利用照射到的光并节省原料，属于一种新型的结构的光电探测器，并且结合材料的选择，提高光电探测器的效果。

主权项

一种点阵式光电探测器，其特征在于，包含：绝缘基板；绝缘基板上的金属层，所述金属层上的第一透明导电氧化物层；所述第一透明导电氧化物层上的绝缘层；所述绝缘层内均匀分布且呈点阵式的孔洞；所述孔洞内填充砷化镓材料，并且填充完成后上表面与绝缘层的上表面齐平；在所述绝缘层和所述砷化镓材料上方形成的第二透明导电氧化物层；所述第二透明导电氧化物层上形成透明聚光凸点层，所述透明聚光凸点层由聚光凸点形成，其对应点阵式孔洞并且将照射的光分别汇聚至各个点阵式孔洞中的砷化镓材料上。