[发明专利]多层叠加的气体传感器

摘要

本申请提供了一种新型的气体传感器结构，包括金属层、透明导电氧化物层、第一金属细栅线，还包括三层多孔的气体传感层，分别是多孔氧化锡层、多孔氧化钴层和多孔氧化镍层，并且通过碳量子点溶液对这三层进行浸泡，对气体传感层进行改性，该新型结构下气体传感层的半导体性质得到很大的改变，对于气体传感的灵敏度得到了较高的提升，并且通过设置的探测结构，提升了传感器效率。

主权项

一种多层叠加的气体传感器，其特征在于，包含：绝缘基板；所述绝缘基板上设置第一电极层，所述第一电极层包括金属层和透明导电氧化物层；第一金属细栅线，设置在所述透明导电氧化物层上；在所述第一金属细栅线和透明导电氧化物层未被金属细栅线覆盖的区域上形成多孔氧化锡层；在所述多孔氧化锡层上形成多孔氧化钴层；在所述多孔氧化钴层上形成的多孔氧化镍层；在所述多孔氧化镍层上形成第二金属细栅线；形成所述多孔氧化锡层、多孔氧化钴层和多孔氧化镍层后，通过包括碳量子点溶液对这三层进行浸泡，然后旋转去除碳量子点溶液，使得多孔层中材料的孔壁上形成碳量子点。