[发明专利]一种共光路自校准薄膜厚度测量装置及测量方法有效
| 申请号： | 201710277954.0 | 申请日： | 2017-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN107167085B | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 苑勇贵;卢旭;杨军;彭峰;李寒阳;卢东川;祝海波;苑立波 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工程大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01B11/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明提供的是一种共光路自校准薄膜厚度测量装置及测量方法。包括光源输出模块、膜厚测量探头模块、干涉与解调模块以及采集与控制模块等四部分。本发明的测量探头能同时实现对传输光线的透射和反射，无待测薄膜时可实现两探头间绝对距离H的测量；待测薄膜安置在两探头中间，实现两探头与待测薄膜前后表面绝对距离H1和H2的测量；待测薄膜厚度d可由d＝H‑(H1+H2)确定。本发明实现不需标定样品即可对透明与不透明薄膜的厚度进行测量，干涉光束共光路克服了测量过程中由于测量系统内部机械不稳定和外部环境变化所带来的影响，具有自校准、测量结果可溯源、稳定性高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 薄膜 共光路 自校准 探头 薄膜厚度测量装置 绝对距离 外部环境变化 不透明薄膜 透射和反射 测量过程 测量探头 测量系统 传输光线 干涉光束 光源输出 解调模块 控制模块 膜厚测量 探头模块 标定 溯源 采集 透明 干涉 安置 | ||
【主权项】：
1.一种共光路自校准薄膜厚度测量装置，包括光源输出模块(1)、膜厚测量探头模块(4)、干涉与解调模块(6)以及采集与控制模块(7)，其特征是：光源输出模块(1)输出光通过分束耦合器(2)被分为两路，一路通过第1测量干涉仪耦合器(3)进入膜厚测量探头模块(4)的第1测量探头(401)中进行测量、另一路通过第2测量干涉仪耦合器(5)进入膜厚测量探头模块(4)的第2测量探头(402)中进行测量；经由第1测量探头(401)的返回光通过第1测量干涉仪耦合器(3)进入干涉与解调模块(6)中，经由第2测量探头(402)的返回光通过第2测量干涉仪耦合器(5)进入干涉与解调模块(6)中；通过干涉与解调模块(6)中的第1解调干涉仪(6A)与第2解调干涉仪(6B)的扫描实现光程匹配，通过第2波分复用器(707)和第3波分复用器(708)将不同波长的干涉信号分离后输入到采集与控制模块(7)中。
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