[发明专利]二维位移测量装置及测量方法

摘要

本发明涉及一种二维位移测量装置，包括：激光器，用于输出偏振激光；分光移频模块，用于将偏振激光进行分光并实现差动移频，形成至少三束光，且三束光频率不同；汇聚模块，用于对至少三束光进行汇聚后入射至待测目标上，且接收被待测目标散射返回的激光，使返回的激光进入激光器，以对激光器的输出激光的光强进行调制；信号检测模块，设置于从激光器出射的偏振激光的光路上，用于对激光器输出激光的光强进行检测并转换为电信号；信号处理模块，与所述信号检测模块连接，用于对信号检测模块输出的电信号进行处理及计算，获得离面位移及面内位移。本发明还提供一种位移测量方法。本发明提供的二维位移测量装置及方法测量精度高。

主权项

1.一种二维位移测量装置，其特征在于，所述二维位移测量装置包括：激光器，用于输出偏振激光；分光移频模块，设置于从激光器出射的偏振激光的光路上，用于将偏振激光进行分光并实现差动移频，形成至少三束光，包括第一光束I₁、第二光束I₂及第三光束I₃，且三束光频率不同；其中，所述分光移频模块包括分光单元及移频单元，所述分光单元用于对进入分光移频模块的激光进行分光，形成至少三束激光；所述移频单元用于对所述三束激光进行移频，形成频率不同的至少三束光；汇聚模块，设置于从分光移频模块出射的至少三束光的光路上，用于对至少三束光进行汇聚后入射至待测目标上，且接收被待测目标散射返回的激光，使返回的激光进入激光器，以对激光器的输出激光的光强进行调制；信号检测模块，设置于从激光器出射的偏振激光的光路上，用于对激光器输出激光的光强进行检测并转换为电信号；信号处理模块，包括信号处理单元和数据处理单元，所述信号处理单元与所述信号检测模块连接，用于对信号检测模块输出的电信号进行初步处理，所述数据处理单元与所述信号处理单元连接，用于对初步处理后的电信号进行计算，获得离面位移及面内位移。