[发明专利]一种基于反应-扩散理论的预测NBTI长时恢复的解析方法有效

专利信息
申请号: 201710277237.8 申请日: 2017-04-25
公开(公告)号: CN107203691B 公开(公告)日: 2020-08-25
发明(设计)人: 李小进;曾严;孙亚宾;石艳玲;胡少坚;郭奥 申请(专利权)人: 华东师范大学;上海集成电路研发中心有限公司
主分类号: G06F30/20 分类号: G06F30/20
代理公司: 上海麦其知识产权代理事务所(普通合伙) 31257 代理人: 董红曼;马旸
地址: 200062 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种基于反应‑扩散理论的预测NBTI长时恢复的解析方法,包括:步骤一:获取p‑MOSFET器件的器件参数;步骤二:基于基础反应‑扩散理论,得出描述NBTI长时恢复的一般解析模型;步骤三:基于界面陷阱的快速恢复和H2的锁定效应,修正一般解析模型;步骤四:基于DH2是随时间变化的物理量,引入参数ξ随时间变化的表达式进行修正,得到完整的用于描述NBTI长时恢复的解析模型;步骤五:根据解析模型,预测p‑MOSFET器件的NBTI长时恢复。本发明提出的解析模型纳入了H2的扩散系数随恢复时间衰减和锁定效应这两个因素,并且通过与R‑D模型数值解比较验证了本发明的有效性。
搜索关键词: 一种 基于 反应 扩散 理论 预测 nbti 恢复 解析 方法
【主权项】:
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