[发明专利]一种锆钛酸铅薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201710277126.7 | 申请日： | 2017-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN108727020B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 邹赫麟;李奇;王兴;韩梅;周毅 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学;珠海赛纳三维科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/491 | 分类号： | C04B35/491;C04B35/622 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 陶敏;黄健 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： |
本发明提供一种锆钛酸铅薄膜及其制备方法。本发明的方法包括：1)将钛酸四丁酯溶于乙酰丙酮中，再加入硝酸锆、乙酸铅、乙二醇甲醚和甲酰胺，控制乙酸铅与硝酸锆的摩尔比为(1.1‑1.3)：y，制备化学式为Pb(Zr |
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| 搜索关键词： | 一种 锆钛酸铅 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种锆钛酸铅薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下顺序进行的步骤：1)将钛酸四丁酯溶于乙酰丙酮中，再加入硝酸锆、乙酸铅、乙二醇甲醚和甲酰胺，控制乙酸铅与硝酸锆的摩尔比为(1.1‑1.3)：y，制备化学式为Pb(ZryTi1‑y)O3的锆钛酸铅缓冲层前驱体溶液，其中y为0.52‑0.53；2)将所述锆钛酸铅缓冲层前驱体溶液沉积在衬底上，热处理，得到锆钛酸铅缓冲层；3)将钛酸四丁酯溶于乙酰丙酮中，再加入硝酸锆、乙酸铅、乙二醇甲醚和甲酰胺，控制乙酸铅与硝酸锆的摩尔比为(1.15‑1.25)：y，制备化学式为Pb(ZryTi1‑y)O3的锆钛酸铅前驱体溶液，其中y为0.52‑0.53；4)将所述锆钛酸铅前驱体溶液沉积在所述锆钛酸铅缓冲层上，热处理，得到锆钛酸铅薄膜。
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