[发明专利]具有(100)晶粒择优取向的锆钛酸铅厚膜的制备方法无效
| 申请号： | 200910218944.5 | 申请日： | 2009-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN101717272A | 公开（公告）日： | 2010-06-02 |
| 发明（设计）人： | 任巍;朱宛琳;辛红;史鹏;吴小清;陈晓峰;姚熹 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C04B41/50 | 分类号： | C04B41/50;C04B41/52 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 惠文轩 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有(100)晶粒择优取向的锆钛酸铅厚膜的制备方法，步骤如下：a、首先以乙酸铅、四正丁酯锆和钛酸四丁酯为起始原料，乙二醇乙醚为溶剂，乙酰丙酮和甲酰胺为稳定剂，制备化学组成Pb(Zr0.52Ti0.48)TiO3、浓度为0.7～0.8mol/L的锆钛酸铅前驱体溶液；b、将锆钛酸铅前驱体溶液采用旋涂工艺直接沉积在单晶硅基片上，并在热处理炉中依次350℃快速干燥3～5分钟、650℃退火处理3～5分钟，得到单层四方钙钛矿结构的(100)取向锆钛酸铅薄膜；c、重复步骤b操作制备10～30层的(100)取向锆钛酸铅薄膜，得到厚度为1.3～3.9微米的的锆钛酸铅厚膜。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 100 晶粒 择优取向 锆钛酸铅厚膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种具有(100)晶粒择优取向的锆钛酸铅厚膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：a、首先以乙酸铅、四正丁酯锆和钛酸四丁酯为起始原料，乙二醇乙醚为溶剂，乙酰丙酮和甲酰胺为稳定剂，制备化学组成Pb(Zr0.52Ti0.48)TiO3、浓度为0.7～0.8mol/L的锆钛酸铅前驱体溶液；b、将锆钛酸铅前驱体溶液采用旋涂工艺直接沉积在单晶硅基片上，并在热处理炉中依次350℃快速干燥3～5分钟、650℃退火处理3～5分钟，得到单层四方钙钛矿结构的(100)取向锆钛酸铅薄膜；c、重复步骤b操作制备10～30层的(100)取向锆钛酸铅薄膜，得到厚度为1.3～3.9微米的具有(100)晶粒择优取向的锆钛酸铅厚膜。
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