[发明专利]用于激光器腔室的耐腐蚀性电极有效
申请号: | 201710262079.9 | 申请日: | 2013-05-23 |
公开(公告)号: | CN107181158B | 公开(公告)日: | 2020-09-22 |
发明(设计)人: | J·卡尔多克斯;T·P·杜斐;W·N·帕特洛 | 申请(专利权)人: | 西默有限公司 |
主分类号: | H01S3/038 | 分类号: | H01S3/038;H01S3/0971;H01S3/225 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 王茂华 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 由已经用磷掺杂的黄铜来形成耐腐蚀性电极。所述电极由含约100‑1000ppm磷的黄铜形成,且在400倍放大倍数下所述黄铜没有可见的微孔性。所述黄铜可为含约30重量%锌和余量铜的弹壳黄铜。还可通过对黄铜进行剧烈塑性变形以增加黄铜对等离子体腐蚀的耐受性,来形成耐腐蚀性电极。耐腐蚀性电极可用于激光器系统以产生激光。 | ||
搜索关键词: | 用于 激光器 腐蚀性 电极 | ||
【主权项】:
一种电极,包括:所述电极的主体,具有拉长的表面,所述电极的主体由包含砷或锑作为掺杂的黄铜形成,所述黄铜所包含的所述掺杂的量足以抑制允许空位和氟穿过所述黄铜的晶格移动的电迁移效应并且抑制铜和锌离子的自扩散,所述黄铜在400倍的放大倍数下没有可见的微孔性,所述黄铜包含不超过10ppm的铁,并且所述黄铜相对于未利用砷、锑和磷中的一种或多种掺杂的弹壳黄铜呈现增加的等离子体腐蚀耐受性。
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