[发明专利]柔性显示基板激光剥离装置及其激光剥离方法

摘要

本发明揭露一种柔性显示基板激光剥离装置及其激光剥离方法。装置用于对待剥离的柔性显示器件进行剥离，装置包括连续卷对卷的承载膜、真空吸附工作平台以及激光光束；承载膜，用于承载并传送待剥离的柔性显示器件至真空吸附工作平台的对应位置，且待剥离的柔性显示器件中的柔性显示基板贴合承载膜；真空吸附工作平台设于承载膜下方，用于启动真空吸附柔性显示基板；激光光束设于承载膜上方且对应真空吸附工作平台，用于对待剥离的柔性显示器件进行激光剥离，且激光光束与承载膜之间的距离大于或等于待剥离的柔性显示器件的厚度。本发明可以实现连续式且高效率的生产。

主权项

一种柔性显示基板激光剥离装置，用于对待剥离的柔性显示器件进行剥离，所述待剥离的柔性显示器件包括载体基板及形成于所述载体基板上的柔性显示基板，其特征在于，所述装置包括：连续卷对卷的承载膜、真空吸附工作平台以及激光光束；所述承载膜，用于承载并传送所述待剥离的柔性显示器件至所述真空吸附工作平台的对应位置，且所述柔性显示基板贴合所述承载膜；所述真空吸附工作平台设于所述承载膜下方，用于启动真空吸附所述柔性显示基板；所述激光光束设于所述承载膜上方且对应所述真空吸附工作平台，用于对所述待剥离的柔性显示器件进行激光剥离，且所述激光光束与所述承载膜之间的距离大于或等于所述待剥离的柔性显示器件的厚度。