[发明专利]一种波片快慢轴检测方法

摘要

本发明涉及波片检测技术领域，特别涉及一种波片快慢轴的检测方法。该方法根据对波片快慢轴间相位延迟量差的色散特性的分析，利用椭圆偏振光谱仪对相位差的精确测量，设计了一种波片快慢轴检测方法，该波片快慢轴检测方法理论简洁、清晰，操作方便，检测速度快，且无需事先知晓波片材质、使用波长以及对应的相位差。

主权项

1.一种波片快慢轴检测方法，包括以下步骤：（1）将椭圆偏振光谱仪的起偏臂和检偏臂调至水平透射模式；（2）旋转起偏臂中的起偏器，将氙灯出射光调为P方向‑竖直方向振动的线偏光，在起偏臂和检偏臂之间放入检偏器，旋转检偏器至消光；（3）将待检测波片放入起偏臂和检偏器之间，使入射光线垂直波片表面，旋转波片，至光路再次出现消光；（4）旋转起偏臂中的起偏器，将出射线偏光振动方向调至与P方向成45度角方向；（5）撤出检偏器，扫描波片P、S‑水平方向两方向上相位差的色散曲线；其特征在于包括步骤（6）：（6）根据上述步骤（5）得到的P、S两方向上相位差色散曲线斜率的正负情况判断波片快慢轴方向。