[发明专利]探针清洗装置及探针清洗方法

摘要

本发明公布了一种探针清洗装置，探针清洗装置包括清洗槽、超声波发生器及控制模组，控制模组电连接超声波发生器，清洗槽盛放清洗剂并安装于表面段差测量装置的工作平台一侧，超声波发生器置于清洗槽中，控制模组控制超声波发生器带动清洗剂在超声波频率下振动以清洗探针，同时控制模组控制探针伸入清洗剂液面的深度。本发明还公布了一种探针清洗方法。在工作平台旁设置探针清洗装置可以在不停机的情况下定期清洗探针，避免探针表面沾有污渍或残渣影响测量的精确度，超声波清洗效果良好且稳定，不会出现探针倾斜等异常影响探针测量精度，保护探针不受损坏，延长探针使用寿命。

主权项

1.一种探针清洗装置，用于清洗表面段差测量装置的探针，其特征在于，所述探针清洗装置包括清洗槽、超声波发生器及控制模组，所述控制模组电连接所述超声波发生器，所述清洗槽盛放清洗剂并安装于所述表面段差测量装置的工作平台一侧，所述超声波发生器置于所述清洗槽中，所述控制模组控制所述超声波发生器带动所述清洗剂在超声波频率下振动以清洗所述探针，同时所述控制模组控制所述探针伸入所述清洗剂液面的深度，所述表面段差测量装置包括工作平台，所述工作平台包括工作面，所述工作面用于平铺放置待测样品，所述探针在待测样品的待测表面划动，所述清洗槽通过升降丝杆安装在所述工作平台的一侧，所述控制模组包括第一驱动单元，所述第一驱动单元控制驱动电机驱动所述清洗槽依靠所述升降丝杆升降，从而控制所述探针伸入所述清洗剂液面的深度。