[发明专利]一种可自动检测栅极腐蚀装置有效
申请号: | 201710224116.7 | 申请日: | 2017-04-07 |
公开(公告)号: | CN107219232B | 公开(公告)日: | 2020-03-17 |
发明(设计)人: | 杨龙兴;张陈;郭大伟;张卫平;王晴晴;翟吉林;梁栋 | 申请(专利权)人: | 江苏理工学院 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95 |
代理公司: | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人: | 付秀颖 |
地址: | 213001 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明属于栅极腐蚀检测技术领域,具体涉及一种可自动检测栅极腐蚀装置,包括壳体,壳体内设有栅极、安全房、检测机构、六轴机械模组和控制系统,安全房设于栅极的下方,检测机构与六轴机械模组连接,六轴机械模组容置于安全房内,检测机构、六轴机械模组均与所述控制系统控制连接,需要检测栅极的腐蚀情况时,六轴机械模组从安全房内滑出并将检测机构输送至栅极的待检测部位。本发明的可自动检测栅极腐蚀装置,能够对栅极所有面腐蚀的情况进行检测。 | ||
搜索关键词: | 一种 自动检测 栅极 腐蚀 装置 | ||
【主权项】:
一种可自动检测栅极腐蚀装置,其特征在于:包括壳体(1),壳体(1)内设有栅极(2)、安全房(3)、检测机构(4)、六轴机械模组(5)和控制系统,安全房(3)设于栅极(2)的下方,检测机构(4)与六轴机械模组(5)连接,六轴机械模组(5)容置于安全房(3)内,检测机构(4)、六轴机械模组(5)均与所述控制系统控制连接,需要检测栅极(2)的腐蚀情况时,六轴机械模组(5)从安全房(3)内滑出并将检测机构(4)输送至栅极(2)的待检测部位。
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