[发明专利]一种银纳米线柔性透明导电薄膜的图形化方法有效
申请号: | 201710203606.9 | 申请日: | 2017-03-30 |
公开(公告)号: | CN107093500B | 公开(公告)日: | 2019-04-09 |
发明(设计)人: | 徐苗;黄东晨;李民;王磊;邹建华;陶洪 | 申请(专利权)人: | 华南理工大学 |
主分类号: | H01B13/00 | 分类号: | H01B13/00;H01B5/14;H01B1/02;B82Y30/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 陈文姬 |
地址: | 510640 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种银纳米线柔性透明导电薄膜的图形化方法,包括以下步骤:(1)在衬底上通过溶液加工方法形成银纳米线透明导电薄膜;(2)根据图案化需求,通过喷墨打印的方式在银纳米线透明导电薄膜上制备图形化的抗酸性氧化物保护层,并对抗酸性氧化物保护层进行固化;(3)采用刻蚀液对透明导电薄膜处理,将未被抗酸性氧化物保护层覆盖的银纳米线透明导电薄膜刻蚀去除,从而得到图案化的柔性透明导电薄膜。本发明通过制备抗酸性无机薄膜作为水氧阻隔层并且作为银纳米线图案化过程中起到掩膜保护的作用,从而可以减少光刻工艺,简化工艺流程。 | ||
搜索关键词: | 一种 纳米 柔性 透明 导电 薄膜 图形 方法 | ||
【主权项】:
1.一种银纳米线柔性透明导电薄膜的图形化方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)在衬底上通过溶液加工方法形成银纳米线透明导电薄膜,所述溶液加工方法为旋涂、丝网印刷、喷涂、刮刀涂布、狭缝涂布、浸泡涂布、压印中的一种;(2)根据图案化需求,通过喷墨打印的方式在银纳米线透明导电薄膜上制备图形化的抗酸性氧化物保护层,并通过加热对抗酸性氧化物保护层进行固化,抗酸性氧化物保护层的墨水为由锌盐和氯化亚锡组成的混合前驱体溶液;所述锌盐为醋酸锌或硝酸锌;其中,Zn、Sn离子的摩尔比为1:(0.5‑3);或者为:由二氧化锡纳米颗粒和氧化锌纳米颗粒组成的混合溶液,其中,Zn、Sn离子的摩尔比为1:(0.5‑3);(3)采用刻蚀液对透明导电薄膜处理,未使用抗酸性氧化物保护层覆盖的银纳米线透明导电薄膜将被刻蚀去除,最终得到图案化的柔性透明导电薄膜。
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