[发明专利]一种气囊轮廓在位检测方法及装置有效
申请号: | 201710201757.0 | 申请日: | 2017-03-30 |
公开(公告)号: | CN106737194B | 公开(公告)日: | 2019-03-29 |
发明(设计)人: | 钟波;陈贤华;文中江;王健;许乔;侯晶;徐曦;郑楠 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
主分类号: | B24B49/12 | 分类号: | B24B49/12;B24B29/00 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 吴开磊 |
地址: | 610000 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明实施例提供的一种气囊轮廓在位检测方法及装置,通过气囊抛光机床、激光测微仪以及用于进行数据处理的计算设备对待测气囊的轮廓特征进行检测,以判断该待测气囊是否满足实际使用要求。与现有技术相比,本发明实施例提供的方法及装置,能够有效保证气囊轮廓质量的一致性,提高气囊抛光去除的稳定性和工艺可控性,而且可以基于检测获得的气囊轮廓特征推测实际去除函数,从而调整抛光工艺参数以改善光学元件的去除效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 气囊 轮廓 在位 检测 方法 装置 | ||
【主权项】:
1.一种气囊轮廓在位检测方法,其特征在于,该方法包括:通过激光测微仪确定待测气囊在初始状态时沿旋转轴轴线方向的最低点,令所述激光测微仪的激光测头对准所述最低点,该最低点的位置坐标为预设坐标系下的原点坐标;驱动所述待测气囊进行球面轨迹运动,所述待测气囊的运动轨迹为包含所述最低点的球面轨迹,所述球面轨迹的半径为预设的参考气囊的半径;在所述待测气囊运动过程中,通过所述激光测微仪对该待测气囊的轮廓数据进行采集;将所述激光测微仪采集到的数据进行数据拟合,得到拟合曲线;由该拟合曲线计算所述待测气囊与参考气囊的轮廓线最大偏差;根据所述参考气囊的球面轨迹数据和上述得到的轮廓线最大偏差计算出所述待测气囊的半径;根据上述计算出的半径编制球面轨迹检测程序检测出该待测气囊的轮廓误差。
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