[发明专利]制备超薄Sensor的方法在审
申请号: | 201710175453.1 | 申请日: | 2017-03-22 |
公开(公告)号: | CN106980407A | 公开(公告)日: | 2017-07-25 |
发明(设计)人: | 刘玉华;余鹏;贾福海;张莉;杜晓峰 | 申请(专利权)人: | 宜昌南玻显示器件有限公司;中国南玻集团股份有限公司 |
主分类号: | G06F3/041 | 分类号: | G06F3/041 |
代理公司: | 宜昌市三峡专利事务所42103 | 代理人: | 黎泽洲 |
地址: | 443000 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明提供一种制备超薄Sensor的方法,包括以下步骤在常规厚度的玻璃基板上,制备传感器区域,得到玻璃传感器基板;将两片玻璃传感器基板,以传感器区域的图案以水胶为粘接物相对贴合,水胶沿着传感器区域外缘,并在传感器区域之外形成封闭;将贴合后的两片玻璃传感器基板进行化学减薄;通过以上步骤得到超薄的Sensor。本发明既保护了Sensor,避免减薄过程中渗酸腐蚀Sensor有效区;也增强玻璃Sensor间的结合力,提高Sensor的支撑力,大幅降低减薄过程中的破损率,提升减薄成品率,降低减薄加工Sensor的成本。 | ||
搜索关键词: | 制备 超薄 sensor 方法 | ||
【主权项】:
一种制备超薄Sensor的方法,其特征是包括以下步骤:一、在常规厚度的玻璃基板上,制备传感器区域(4),得到玻璃传感器基板;二、将两片玻璃传感器基板,以传感器区域(4)的图案以水胶(2)为粘接物相对贴合,水胶(2)沿着传感器区域(4)外缘,并在传感器区域(4)之外形成封闭;三、将贴合后的两片玻璃传感器基板进行化学减薄;通过以上步骤得到超薄的Sensor。
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