[发明专利]基于量子进化算法的宽角度极紫外Mo/Si多层膜的设计方法

摘要

基于量子进化算法的宽角度极紫外Mo/Si多层膜的设计方法属于极紫外多层膜研发领域，解决了在宽角度极紫外多层膜设计中普遍采用遗传算法优化设计过程中存在的种群规模大、计算过程复杂和求解效率低的问题。该方法步骤如下1)输入量子进化算法的初始极紫外多层膜参数值；2)将多层膜膜系参数进行量子编码，生成量子染色体种群；3)计算各多层膜膜系的适应度，选出最优的膜系结构；4)进化判断，满足优化准则，输出最优多层膜膜系结构，算法停止；否则继续进化；5)通过互补变异和离散交叉更新量子编码的多层膜膜系后转向第3)步。该方法适用于宽角度高反射率极紫外多层膜的膜系优化设计，具有种群规模小、收敛速度快和求解效率高的优点。

主权项

基于量子进化算法的宽角度极紫外Mo/Si多层膜的设计方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：步骤一：输入基于量子进化算法的初始极紫外多层膜参数值，包括：种群中量子个体个数、量子编码参数个数、迭代次数、求精次数、求泛次数、最优个体个数和最优个体连续交叉次数；步骤二：对多层膜膜系参数进行量子编码，生成量子染色体一代种群Q，种群Q表示为Q＝[q1 q2 q3 q4 q5 q6 q7 q8 q9 q10]步骤三：计算多层膜膜系量子染色体一代种群Q中量子个体的适应度，并选出最优的量子个体；步骤四：判断量子染色体一代种群Q是否满足优化要求：如果满足优化要求，算法停止，输出最优多层膜膜系结构；如果不满足优化要求，进行步骤五；步骤五：通过互补变异和离散交叉更新量子染色体一代种群Q，形成量子染色体下一代种群Q’；返回步骤三，并增加进化代数。