[发明专利]线性优化的光谱共焦测量装置及方法

摘要

本发明公开一种线性优化的光谱共焦测量装置及方法，该装置包括：光源，用于产生出射光，传输到采样部；采样部，用于接收所述出射光后产生第一次色散，使产生所述第一次色散的光照射至被测物，且使由被测物返回的反射光通过后，传输给分光部，采样部的色散与波长为非线性关系；分光部，用于接收由采样部返回的反射光，且将不同波长的反射光产生第二次色散后传输到传感部，分光部的色散与波长为非线性关系，采样部非线性关系的差异与分光部非线性关系的差异部分或全部抵消；传感部，用于将所述反射光转换成电信号，以获取测量结果。本发明能减少采样部的镜片数量，同时大幅度提高测量精度。

主权项

1.一种线性优化的光谱共焦测量装置，其特征在于，包括：光源，用于产生出射光，传输到采样部；所述采样部，用于接收所述出射光后产生第一次色散，使产生所述第一次色散的光照射至被测物，且使由所述被测物返回的反射光通过后，传输给分光部，所述采样部的色散与波长为非线性关系；所述分光部，用于接收由所述采样部返回的反射光，且将不同波长的反射光产生第二次色散后传输到传感部，所述分光部的色散与波长为非线性关系，所述采样部非线性关系的差异与所述分光部非线性关系的差异部分或全部抵消；所述传感部，用于将所述反射光转换成电信号，以解析获取测量结果；其中，所述采样部包括基于折射色散方式的光学玻璃镜片，所述分光部产生的第二次色散为基于折射的色散方式，且所述分光部包括至少两块棱镜；所述线性优化的光谱共焦测量装置还包括耦合部和准直部，所述耦合部用于耦合所述光源发出的出射光传输经过所述采样部照射在所述被测物上；以及使所述被测物返回的反射光经过所述采样部传输到所述准直部；所述准直部设置于所述耦合部和分光部之间，用于将来自被测物的反射光准直地折射向所述分光部。