[发明专利]一种混合式激光束扫描装置及控制方法

摘要

本发明是一种结构合理，简便易行的混合式激光束扫描装置及控制方法。本发明中设有XY轴振镜扫描系统，XY轴振镜扫描系统中设有角度驱动机构，角度驱动机构在扫描控制器的控制指令下驱动X轴振镜反射镜与Y轴振镜反射镜，工作平台侧边设有压电驱动组件，工作平台在压电驱动组件的驱动下高频振动，激光束在被加工零件表面的实际扫描轨迹由XY轴振镜扫描系统的扫描运动与工作平台的高频振动叠加而成。通过改变XY轴振镜扫描系统的运动速度与工作平台的高频振动速度的比值，可调整高频振动轨迹在被加工零件表面所形成微结构阵列的密集程度，比值越大微结构排列越稀疏，反之则越密集。

主权项

一种混合式激光束扫描装置，其特征在于该混合式激光束扫描装置包括激光器、XY轴振镜扫描系统、角度驱动机构、场镜、工作平台、压电驱动组件和扫描控制器，其中，XY轴振镜扫描系统包括X轴振镜反射镜、Y轴振镜反射镜以及角度驱动机构，场镜设在被加工零件的上方，XY轴振镜扫描系统设在场镜的上方，X轴振镜反射镜、Y轴振镜反射镜正交设置，角度驱动机构分别驱动X轴振镜反射镜、Y轴振镜反射镜，被加工零件置于工作平台上，压电驱动组件设在工作平台的侧边，工作平台在压电驱动组件的驱动下可做微幅直线移动；激光器发出的激光束经X轴振镜反射镜、Y轴振镜反射镜反射后进入场镜聚焦，而后投射到被加工零件的表面；扫描控制器与激光器、角度驱动机构、压电驱动组件连接实现控制。