[发明专利]具有微结构化的多相介电层电容式压力传感器及其制法有效
| 申请号： | 201710129648.2 | 申请日： | 2017-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN106908176B | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 张珽;罗袆;李铁;刘林;顾杨 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王锋 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有微结构化的多相介电层电容式压力传感器及制法，所述压力传感器包括：彼此相对设置的两个柔性电极，所述两个柔性电极彼此相对的两个相对面中的至少一个上具有由复数个凸起部和/或凹下部形成的微结构；以及，多相介电层，分布于所述的两个柔性电极之间，所述多相介电层包括由复数个可自由移动的微球聚集形成的微球介电层以及填充所述微球介电层内的孔隙的空气和/或柔性聚合物。本发明提供的具有微结构化的多相介电层电容式压力传感器具有轻薄、柔软等特点，可以被加工成多种形状，具有可穿戴、可贴附的优点；以多相材料为介电层，可提高器件灵敏度，降低测量的最小压力。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 微结构 多相 介电层 电容 压力传感器 及其 制法 | ||
【主权项】：
一种具有微结构化的多相介电层电容式压力传感器，其特征在于包括：彼此相对设置的两个柔性电极，所述两个柔性电极彼此相对的两个相对面中的至少一个上具有由复数个凸起部和/或凹下部形成的微结构；以及，多相介电层，分布于所述两个柔性电极之间，所述多相介电层包括由复数个可自由移动的微球聚集形成的微球介电层以及填充所述微球介电层内孔隙的空气和/或柔性聚合物。
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