[发明专利]振镜元件有效

专利信息
申请号: 201710116109.5 申请日: 2017-03-01
公开(公告)号: CN107144959B 公开(公告)日: 2019-12-13
发明(设计)人: 田中史记;猪田岳司;西冈谦;明渡纯 申请(专利权)人: 船井电机株式会社;国立研究开发法人产业技术综合研究所
主分类号: G02B26/08 分类号: G02B26/08
代理公司: 72003 隆天知识产权代理有限公司 代理人: 向勇;董雅会
地址: 日本大阪*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 该振镜元件具有镜部、驱动镜部的驱动部、能够检测镜部的位移量的应变传感器以及底座,该底座包括设置有镜部的镜梁部、设置有应变传感器的传感器梁部以及支撑镜梁部及传感器梁部且设置有驱动部的主体部。
搜索关键词: 元件
【主权项】:
1.一种振镜元件,其特征在于,具有:/n镜部;/n驱动部,驱动所述镜部;/n应变传感器,能够检测所述镜部的位移量;/n底座,包括设置有所述镜部的镜梁部、设置有所述应变传感器的传感器梁部以及设置有所述驱动部的主体部,该主体部支撑所述镜梁部及所述传感器梁部,/n所述传感器梁部相对于所述镜梁部平行配置。/n
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