[发明专利]振镜元件有效
申请号: | 201710116109.5 | 申请日: | 2017-03-01 |
公开(公告)号: | CN107144959B | 公开(公告)日: | 2019-12-13 |
发明(设计)人: | 田中史记;猪田岳司;西冈谦;明渡纯 | 申请(专利权)人: | 船井电机株式会社;国立研究开发法人产业技术综合研究所 |
主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08 |
代理公司: | 72003 隆天知识产权代理有限公司 | 代理人: | 向勇;董雅会 |
地址: | 日本大阪*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 该振镜元件具有镜部、驱动镜部的驱动部、能够检测镜部的位移量的应变传感器以及底座,该底座包括设置有镜部的镜梁部、设置有应变传感器的传感器梁部以及支撑镜梁部及传感器梁部且设置有驱动部的主体部。 | ||
搜索关键词: | 元件 | ||
【主权项】:
1.一种振镜元件,其特征在于,具有:/n镜部;/n驱动部,驱动所述镜部;/n应变传感器,能够检测所述镜部的位移量;/n底座,包括设置有所述镜部的镜梁部、设置有所述应变传感器的传感器梁部以及设置有所述驱动部的主体部,该主体部支撑所述镜梁部及所述传感器梁部,/n所述传感器梁部相对于所述镜梁部平行配置。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于船井电机株式会社;国立研究开发法人产业技术综合研究所,未经船井电机株式会社;国立研究开发法人产业技术综合研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201710116109.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。