[发明专利]柔性紫外图像传感器及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201710105895.9 申请日: 2017-02-24
公开(公告)号: CN106898627A 公开(公告)日: 2017-06-27
发明(设计)人: 沈国震;娄正;李禄东 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司11021 代理人: 任岩
地址: 100083 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供了一种柔性紫外图像传感器的制备方法,包括准备柔性衬底;在柔性衬底上覆盖一维无机半导体纳米线;在覆盖有一维无机半导体纳米线的柔性衬底上进一步加工以形成所述柔性紫外图像传感器。本发明采用一维无机半导体纳米线,具有较强的柔性,具有较好的光学性能,还采用了可弯曲的柔性衬底,保证了较好的弯曲柔性,同时,将源漏电极阵列作为像素点,利于每个像素点的正常工作。本发明还提供了一种柔性紫外图像传感器,包括覆盖有一维无机半导体纳米线的柔性衬底和在所述柔性衬底上排列的源漏电极阵列。所述柔性紫外图像传感器具有体积小、质量轻、可弯曲、易携带等优点,可以在弯曲的状态下应用于图案显示,具有巨大的应用潜力。
搜索关键词: 柔性 紫外 图像传感器 及其 制备 方法
【主权项】:
一种柔性紫外图像传感器的制备方法,其特征在于,包括步骤:S1:准备柔性衬底;S2:在柔性衬底上覆盖一维无机半导体纳米线;S3:在覆盖有一维无机半导体纳米线的柔性衬底上进一步加工以形成所述柔性紫外图像传感器。
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