[发明专利]柔性紫外图像传感器及其制备方法在审
申请号: | 201710105895.9 | 申请日: | 2017-02-24 |
公开(公告)号: | CN106898627A | 公开(公告)日: | 2017-06-27 |
发明(设计)人: | 沈国震;娄正;李禄东 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种柔性紫外图像传感器的制备方法,包括准备柔性衬底;在柔性衬底上覆盖一维无机半导体纳米线;在覆盖有一维无机半导体纳米线的柔性衬底上进一步加工以形成所述柔性紫外图像传感器。本发明采用一维无机半导体纳米线,具有较强的柔性,具有较好的光学性能,还采用了可弯曲的柔性衬底,保证了较好的弯曲柔性,同时,将源漏电极阵列作为像素点,利于每个像素点的正常工作。本发明还提供了一种柔性紫外图像传感器,包括覆盖有一维无机半导体纳米线的柔性衬底和在所述柔性衬底上排列的源漏电极阵列。所述柔性紫外图像传感器具有体积小、质量轻、可弯曲、易携带等优点,可以在弯曲的状态下应用于图案显示,具有巨大的应用潜力。 | ||
搜索关键词: | 柔性 紫外 图像传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种柔性紫外图像传感器的制备方法,其特征在于,包括步骤:S1:准备柔性衬底;S2:在柔性衬底上覆盖一维无机半导体纳米线;S3:在覆盖有一维无机半导体纳米线的柔性衬底上进一步加工以形成所述柔性紫外图像传感器。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的