[发明专利]一种生产高效多晶硅的引晶片及引晶方法在审
| 申请号： | 201710104030.0 | 申请日： | 2017-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN106801253A | 公开（公告）日： | 2017-06-06 |
| 发明（设计）人： | 尹长浩;熊震;刘超;蒋奇军;杨双胜;杨飞 | 申请（专利权）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B28/02 |
| 代理公司： | 浙江永鼎律师事务所33233 | 代理人： | 郭小丽 |
| 地址： | 213031 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种生产高效多晶硅的引晶片，其特征在于包括陶瓷基片，和粘附在陶瓷基片表面的引晶颗粒，在引晶颗粒及陶瓷基片的表面喷涂或涂刷有一层氮化硅涂层，所述引晶颗粒为石英颗粒、硅颗粒及碳化硅颗粒中的一种或几种的混合物，引晶颗粒的粒径大小为80‑800μm，引晶颗粒的密度为150‑16000个/cm2。本发明还公开了一种利用所述引晶片生产高效多晶硅的引晶方法。本发明可显著去除硅锭底部红区，大幅度提高铸锭收益，同时从根本上解决粘埚问题，从而降低铸锭成本，提高铸锭收益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生产 高效 多晶 晶片 方法 | ||
【主权项】：
一种生产高效多晶硅的引晶片，其特征在于：包括陶瓷基片，和粘附在陶瓷基片表面的引晶颗粒，在引晶颗粒及陶瓷基片的表面涂布一层氮化硅涂层，所述引晶颗粒为石英颗粒、硅颗粒及碳化硅颗粒中的一种或几种的混合物，引晶颗粒的粒径大小为80‑800μm，引晶颗粒的密度为150‑16000个/cm2。
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