[发明专利]光调制器元件及其制造方法以及具备其的光调制模块有效
申请号: | 201710097803.7 | 申请日: | 2017-02-23 |
公开(公告)号: | CN107121794B | 公开(公告)日: | 2020-03-03 |
发明(设计)人: | 堀口裕一郎;西川智志;秋山浩一;林周作;外间洋平;榎健太郎;田中俊行 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | G02F1/035 | 分类号: | G02F1/035;G02F1/03 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 李今子 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的目的在于提供光调制器元件、具备该光调制器元件的光调制模块以及光调制器元件的制造方法,所述光调制器元件使芯片面积比以往缩小。光调制器元件具备第1、第2光调制器、光输入部以及分支耦合器,第1、第2光调制器分别具备:一组马赫-曾德尔型波导路;第1光耦合器,使来自分支耦合器的光分别分支到一组马赫-曾德尔型波导路;以及第2光耦合器,合成分别通过一组马赫-曾德尔型波导路的光,在第1、第2光调制器中,第1光调制器的一组马赫-曾德尔型波导路的光的行进方向与第2光调制器的一组马赫-曾德尔型波导路的光的行进方向被配置成相互带有角度。 | ||
搜索关键词: | 调制器 元件 及其 制造 方法 以及 具备 调制 模块 | ||
【主权项】:
一种光调制器元件,具备:第1、第2光调制器,形成在半导体基板上;光输入部,光被输入到所述光输入部;以及分支耦合器,使输入到所述光输入部的光分别分支到所述第1、第2光调制器,所述第1、第2光调制器分别具备:一组马赫-曾德尔型波导路;第1光耦合器,使来自所述分支耦合器的光分别分支到所述一组马赫-曾德尔型波导路;以及第2光耦合器,合成分别通过所述一组马赫-曾德尔型波导路的光,在所述第1、第2光调制器中,所述第1光调制器的所述一组马赫-曾德尔型波导路的光的行进方向与所述第2光调制器的所述一组马赫-曾德尔型波导路的光的行进方向被配置成相互带有角度。
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