[发明专利]微机电系统装置有效
| 申请号： | 201710059828.8 | 申请日： | 2017-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN108341394B | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 周羿亨;曾立天;郭致良 | 申请（专利权）人： | 苏州明皜传感科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 徐伟 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种微机电系统装置包含一处理晶粒、一微机电系统晶粒以及多个引线。微机电系统晶粒包含一基板以及一微机电系统元件。基板具有一第一表面，且第一表面包含一电路以及与电路电性连接的多个第一导电接点。微机电系统元件具有一第二表面、一第三表面以及至少一第二导电接点，其中微机电系统元件以第二表面设置于基板的第一表面，且至少一第二导电接点设置于微机电系统元件的第三表面。多个引线经由多个第一导电接点以及第二导电接点分别电性连接微机电系统晶粒的基板以及微机电系统元件至处理晶粒。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 装置 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统装置，其特征在于，包含：一处理晶粒；一微机电系统晶粒，其包含：一基板，其具有一第一表面，且该第一表面包含一电路以及与该电路电性连接的多个第一导电接点；以及一微机电系统元件，其具有一第二表面、一第三表面以及至少一第二导电接点，其中该微机电系统元件以该第二表面朝向该基板设置于该基板的该第一表面，且该至少一第二导电接点设置于该微机电系统元件的该第三表面；以及多个引线，其经由该多个第一导电接点以及该至少一第二导电接点电性连接该微机电系统晶粒的该基板以及该微机电系统元件至该处理晶粒。
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