[发明专利]一种以CVD金刚石为基底的远红外波段光学薄膜滤光片

摘要

本发明公开了一种以CVD金刚石为基底的远红外波段光学薄膜滤光片，该滤光片以碲化铅(PbTe)和硒化锌(ZnSe)为高低折射率薄膜材料，在1‑2×10‑3Pa真空环境、200±2℃沉积温度下，采用热蒸发沉积方法在CVD金刚石基底两侧分别沉积多层膜而成；该远红外滤光片能够实现对波长小于5微米波段的截止，平均透过率低于1％，在5‑45微米波段平均透过率大于71％。本发明专利的远红外波段光学薄膜滤光片可应用于地球辐射探测远红外目标识别和深空探测等领域。

主权项

一种以CVD金刚石为基底的远红外波段光学薄膜滤光片，其结构为：在基底(2)的一面沉积正面带通膜系(1)，在基底的另一面沉积反面截止膜系(3)，其特征在于：所述的正面带通膜系(1)的膜系结构为：基底/0.27H 0.95L 0.57H 0.78L 0.69H 0.81L 0.58H 1.01L 0.33H 2.15L/空气其中，H表示一个λ0/4光学厚度的碲化铅膜层，L表示一个λ0/4光学厚度的硒化锌膜层，λ0为中心波长，其波长为5微米，H、L前的数字为λ0/4光学厚度比例系数乘数；所述的反面截止膜系(3)的膜系结构为：基底/0.34H 1.19L 0.72H 0.98L 0.87H 1.01L 0.73H 1.27L 0.41H 2.69L/空气其中，H表示一个λ0/4光学厚度的碲化铅膜层，L表示一个λ0/4光学厚度的硒化锌膜层，λ0为中心波长，其波长为4微米，H与L前的数字为λ0/4光学厚度比例系数。