[发明专利]一种极薄带表面制备精细坐标网格的方法在审
| 申请号： | 201710036660.9 | 申请日： | 2017-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN106872228A | 公开（公告）日： | 2017-06-20 |
| 发明（设计）人： | 肖宏;任忠凯;刘晓;王高飞 | 申请（专利权）人： | 燕山大学 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 秦皇岛一诚知识产权事务所(普通合伙)13116 | 代理人： | 崔凤英 |
| 地址： | 066004 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 一种极薄带表面制备精细坐标网格的方法，其包括以下步骤准备坯料；匀胶处理；固化处理；曝光处理；显影处理及加强固化。本发明将光刻工艺引入到精密网格制备过程中，旨在克服现有制备网格方法具有线径比较粗，线条边界不清晰的共同缺点。通过该方法制备线径在5‑20μm，线条边界清晰的网格，为研究金属微小塑性变形提供准确的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 极薄带 表面 制备 精细 坐标 网格 方法 | ||
【主权项】：
一种极薄带表面制备精细坐标网格的方法，其特征在于：1)准备坯料：使用剪板机将钢带剪切为小于等于250mm长的试件，两端剪为半圆形，清洗干净试件后，放入鼓风干燥箱进行加热；2)匀胶处理：使用匀胶机进行旋转涂胶；3)固化处理：匀胶结束后，将试件放入鼓风干燥箱进行固化处理；4)曝光处理：将事先准备好的不同线径、不同大小网格的掩膜版通过真空吸盘吸附在曝光机上，然后进行曝光处理；5)显影处理：将曝光完的试件放入盛有显影液的培养皿中浸泡；6)加强固化：再次将试件放入鼓风干燥箱进行固化处理。
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