[发明专利]热温差型风速传感器及其制备方法和检测方法有效
| 申请号： | 201710034158.4 | 申请日： | 2017-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN106829850B | 公开（公告）日： | 2019-03-05 |
| 发明（设计）人： | 易真翔;董蕾;王立峰;秦明;黄庆安 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00;G01P5/12 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 杨晓玲 |
| 地址： | 211189 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种热温差型风速传感器，其特征在于：包括玻璃衬底、发热元件、至少两组感温元件和两组测温元件；其中，发热元件包括加热电感线圈和发热金属块，通过对加热电感线圈施加交流电使发热金属块发热。还公开了这种热温差型风速传感器的制备方法，以及基于这种热温差型风速传感器的风速检测方法。通过这种结构的热温差型风速传感器，实现正面感风的风速检测，提高风速传感器的灵敏度并降低功耗，同时还能避免采用键合线技术和衬底通孔技术，成本低，易于产业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 温差 风速 传感器 及其 制备 方法 检测 | ||
【主权项】：
1.一种热温差型风速传感器的制备方法，其特征在于包括如下步骤：S1、准备绝缘的玻璃衬底；S2、在玻璃衬底正面旋涂光刻胶，固化；S3、利用光刻技术去除正面需要生长元件部分的光刻胶；S4、溅射金属材料，泡入丙酮溶液中，剥离，形成衬底正面的感温元件和发热金属块；S5、在玻璃衬底背面旋涂光刻胶，固化；S6、利用光刻技术去除背面需要生长元件部分的光刻胶；S7、溅射金属材料、泡入丙酮溶液中，剥离，形成衬底背面的加热电感线圈和测温元件；其中，测温元件与感温元件位置正对应，发热金属块与加热电感线圈位置正对应。
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