[发明专利]用于TFT玻璃基板薄化工艺预处理的组合物在审
申请号: | 201710013305.X | 申请日: | 2017-01-09 |
公开(公告)号: | CN106746703A | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
发明(设计)人: | 张杰;沈励;郑建军;姚仕军;夏伟;吴青肖 | 申请(专利权)人: | 天津美泰真空技术有限公司 |
主分类号: | C03C15/00 | 分类号: | C03C15/00 |
代理公司: | 天津合志慧知识产权代理事务所(普通合伙)12219 | 代理人: | 陈松 |
地址: | 300000 *** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 用于TFT玻璃基板薄化工艺预处理的组合物,其特征在于所述组合物由以下组分组成质量百分比含量10~20%的盐酸(HCl),质量百分比含量2%~5%的氢氟酸(HF),质量百分比含量5~10%的羧甲基纤维素钠(CMC‑Na),质量百分比含量2~3%的聚乙烯吡咯烷酮K90(PVP K90),质量百分含量10~20%的乙醇及余量的水。 | ||
搜索关键词: | 用于 tft 玻璃 基板薄 化工 预处理 组合 | ||
【主权项】:
用于TFT玻璃基板薄化工艺预处理的组合物,其特征在于所述组合物由以下组分组成:质量百分比含量10~20%的盐酸,质量百分比含量2%~5%的氢氟酸,质量百分比含量5~10%的羧甲基纤维素钠,质量百分比含量2~3%的聚乙烯吡咯烷酮,质量百分含量10~20%的乙醇及余量的水。
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