[发明专利]双层光子晶体0.325THz品质因子谐振腔在审
申请号: | 201710007425.9 | 申请日: | 2017-01-05 |
公开(公告)号: | CN106840386A | 公开(公告)日: | 2017-06-13 |
发明(设计)人: | 李粮生;张景;殷红成 | 申请(专利权)人: | 北京环境特性研究所 |
主分类号: | G01J1/04 | 分类号: | G01J1/04 |
代理公司: | 北京君恒知识产权代理事务所(普通合伙)11466 | 代理人: | 黄启行,张璐 |
地址: | 100854*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种双层光子晶体0.325THz品质因子谐振腔,采用两片相同的基片,间隔一定距离,在每个基片上刻蚀出周期性圆孔,形成双层光子晶体谐振腔。本发明由于双层光子晶体结构中间存在一定空间,许多探测单元、线路等可以加工在此区域,比单层光子晶体结构存在优势。 | ||
搜索关键词: | 双层 光子 晶体 0.325 thz 品质 因子 谐振腔 | ||
【主权项】:
双层光子晶体0.325THz品质因子谐振腔,其特征在于,两片相同的基片间隔一定距离,在每个基片上刻蚀出周期性圆孔,形成双层光子晶体谐振腔。
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