[发明专利]双层光子晶体0.325THz品质因子谐振腔在审

专利信息
申请号: 201710007425.9 申请日: 2017-01-05
公开(公告)号: CN106840386A 公开(公告)日: 2017-06-13
发明(设计)人: 李粮生;张景;殷红成 申请(专利权)人: 北京环境特性研究所
主分类号: G01J1/04 分类号: G01J1/04
代理公司: 北京君恒知识产权代理事务所(普通合伙)11466 代理人: 黄启行,张璐
地址: 100854*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种双层光子晶体0.325THz品质因子谐振腔,采用两片相同的基片,间隔一定距离,在每个基片上刻蚀出周期性圆孔,形成双层光子晶体谐振腔。本发明由于双层光子晶体结构中间存在一定空间,许多探测单元、线路等可以加工在此区域,比单层光子晶体结构存在优势。
搜索关键词: 双层 光子 晶体 0.325 thz 品质 因子 谐振腔
【主权项】:
双层光子晶体0.325THz品质因子谐振腔,其特征在于,两片相同的基片间隔一定距离,在每个基片上刻蚀出周期性圆孔,形成双层光子晶体谐振腔。
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