[发明专利]涂覆前体喷嘴和喷嘴头有效
申请号: | 201680069622.7 | 申请日: | 2016-12-15 |
公开(公告)号: | CN108291303B | 公开(公告)日: | 2020-07-21 |
发明(设计)人: | P·T·索伊尼宁 | 申请(专利权)人: | 倍耐克有限公司 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455;C23C16/54 |
代理公司: | 北京市铸成律师事务所 11313 | 代理人: | 王珺;徐瑞红 |
地址: | 芬兰,*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及用于使基材(5)的表面经受涂覆前体的涂覆前体喷嘴(15)。所述喷嘴(15)具有喷嘴输出面(10a)、第一喷嘴侧部边缘和第二喷嘴侧部边缘(31、32)以及第一喷嘴端部边缘和第二喷嘴端部边缘(33、34)。所述涂覆前体喷嘴(15)包括前体供应通道(16)、第一排出通道(17a)、第一横向吹扫气体通道(18a)、第二横向吹扫气体通道(18b)、第一边缘吹扫气体通道(19a)和至少一个第一辅助吹扫气体通道(20)。本发明还涉及喷嘴头(1)。 | ||
搜索关键词: | 涂覆前体 喷嘴 | ||
【主权项】:
1.一种用于使基材(5)的表面经受涂覆前体的涂覆前体喷嘴(15),所述喷嘴(15)具有喷嘴输出面(10a)、第一喷嘴侧部边缘和第二喷嘴侧部边缘(31、32)以及第一喷嘴端部边缘和第二喷嘴端部边缘(33、34);所述涂覆前体喷嘴(15)包括:前体供应通道(16),所述前体供应通道具有第一前体供应通道端部(16a)和第二前体供应通道端部(16b),用于经由所述喷嘴输出面(10a)使所述基材(5)的所述表面经受所述前体,所述前体供应通道(16)在所述第一喷嘴端部边缘和第二喷嘴端部边缘(33、34)之间纵向延伸;第一排出通道(17a),所述第一排出通道向所述喷嘴输出面(10a)打开,用于排出从所述前体供应通道(16)供应的所述前体的至少一部分,所述第一排出通道(17a)在所述第一喷嘴端部边缘和第二喷嘴端部边缘(33、34)之间纵向延伸;第二排出通道(17b),所述第二排出通道向所述喷嘴输出面(10a)打开,用于排出从所述前体供应通道(16)供应的所述前体的至少一部分,所述第二排出通道(17b)在所述第一喷嘴端部边缘和第二喷嘴端部边缘(33、34)之间纵向延伸;所述前体供应通道(16)布置在所述第一排出通道和所述第二排出通道(17a、17b)之间;用于供应吹扫气体的第一横向吹扫气体通道(18a),所述第一横向吹扫气体通道(18a)在所述第一喷嘴端部边缘和第二喷嘴端部边缘(33、34)之间纵向延伸;用于供应吹扫气体的第二横向吹扫气体通道(18b),所述第二横向吹扫气体通道(18b)在所述第一喷嘴端部边缘和第二喷嘴端部边缘(33、34)之间纵向延伸;所述第一排出通道和所述第二排出通道(17a、17b)和所述前体供应通道(16)布置在所述第一横向吹扫气体通道和所述第二横向吹扫气体通道(18a、18b)之间;用于供应吹扫气体的第一边缘吹扫气体通道(19a),所述第一边缘吹扫气体通道设置在所述第一喷嘴端部边缘(33)和所述第一前体供应通道端部(16a)之间,所述第一边缘吹扫气体通道(19a)在所述第一喷嘴侧部边缘和第二喷嘴侧部边缘(31、32)之间纵向延伸;其特征在于,所述涂覆前体喷嘴(15)还包括:至少一个用于供应吹扫气体的第一辅助吹扫气体通道(20),所述第一辅助吹扫气体通道布置在所述第一喷嘴侧部边缘和第二喷嘴侧部边缘(31、32)之间,以及所述第一边缘吹扫气体通道(19a)和经由所述第一前体供应通道端部(16a)从所述第一喷嘴侧部边缘(31)延伸到所述第二喷嘴侧部边缘(32)的线(40)之间的区域中。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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