[发明专利]力学量测量装置和使用它的压力传感器有效
| 申请号： | 201680053899.0 | 申请日： | 2016-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN108027291B | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 宮嶋健太郎 | 申请（专利权）人： | 日立汽车系统株式会社 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;G01L9/00;H01L29/84 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供具有现有技术以上的高信噪比和高分辨率的力学量测量装置和使用它的压力传感器。该力学量测量装置在一个半导体衬底(1)的主面设置有由杂质扩散电阻体构成的多个惠斯通电桥，多个惠斯通电桥检测在半导体衬底(1)的主面上正交的x轴方向上产生的变形量与y轴方向上产生的变形量之差，构成多个惠斯通电桥的杂质扩散电阻体在各个测量区域内均匀地配置。 | ||
| 搜索关键词： | 力学 测量 装置 使用 压力传感器 | ||
【主权项】：
1.一种力学量测量装置，其特征在于：在一个半导体衬底的主面上具有由杂质扩散电阻体构成的多个惠斯通电桥，利用所述惠斯通电桥检测在所述半导体衬底的所述主面上正交的x轴方向上产生的变形量与y轴方向上产生的变形量之差，构成所述多个惠斯通电桥的杂质扩散电阻体彼此靠近地配置，所述多个惠斯通电桥的输出信号成分基于所测量的区域内的平均变形量以大致相同的灵敏度增加。
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