[发明专利]用于制造第一电极/有源层/第二电极的叠层的方法有效
| 申请号： | 201680047027.3 | 申请日： | 2016-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN107925005B | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | J-M·韦里亚克;S·夏洛 | 申请（专利权）人： | 原子能和能源替代品委员会;ISORG公司;曲克赛尔股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/44 | 分类号： | H01L51/44;H01L51/52;H01L51/56;H01L51/50 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于制造第一电极/有源层/第二电极的叠层的方法，该叠层旨在用于电子器件，尤其是有机光电探测器或有机太阳能电池，所述工艺包括以下步骤：(a)将第一导电材料层(2)沉积在衬底的正面，以形成第一电极；(b)沉积有机半导体薄层形式的有源层(3)，所述层包括不连续区域。所述方法的特征在于，其还包括以下步骤：(d)将薄的树脂层(4)沉积在叠层的与衬底相对的一面，该衬底至少为部分透明的；(e)经由所述衬底的背面(10)来绝缘树脂层(4)；(f)对树脂层进行显影；(g)沉积第二导电材料层(5)，以形成第二导电电极。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 第一 电极 有源 第二 方法 | ||
【主权项】：
一种用于制造第一电极/有源层/第二电极的叠层的工艺，该叠层旨在用于电子器件，尤其是有机光电探测器或有机太阳能电池，所述工艺包括以下步骤：(a)将第一导电层(2)沉积在衬底的正面，以形成第一电极；以及(b)沉积有源层(3)，其采取薄的有机半导体层的形式，该层包括不连续区域；其特征在于，该工艺还包括以下步骤：(d)将抗蚀剂层(4,7)沉积在叠层的与衬底相对的一侧，该衬底至少为部分透明的；(e)经由所述衬底的背面(10)对抗蚀剂层(4,7)进行曝光；(f)对抗蚀剂层进行显影；(g)沉积第二导电层(5)以形成第二导电电极。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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