[实用新型]一种陶瓷基板真空移载装置

摘要

本实用新型公开了一种陶瓷基板真空移载装置，包括底座，底座内设置有控制箱，底座上部焊接有安装座，安装座上铰接有摆动臂，摆动臂上部固定连接有转动圆盘，转动圆盘上端转动连接有移载臂总成，移载臂总成前端设置有安装孔，安装孔上侧和下侧分别连接有第一移载臂和第二移载臂，第一移载臂具有第一驱动机构，第二移载臂具有第二驱动机构，第一移载臂前端转动连接有第一承载支架，第一承载支架上设置有真空吸盘，第二移载臂前端转动连接有第二承载支架，第一承载支架上也设置有真空吸盘。陶瓷基板真空移载装置设置有两个单独驱动的移载臂，两个移载臂工作过程互不影响，在移载过程中，移载架能够同时进行真空吸附移载，也能够进行悬浮移载。

主权项

一种陶瓷基板真空移载装置，其特征在于：包括底座(11)，底座(11)内设置有控制箱，底座上部焊接有安装座(12)，安装座(12)上铰接有摆动臂(13)，摆动臂(13)上部固定连接有转动圆盘，转动圆盘上端转动连接有移载臂总成(14)，移载臂总成(14)前端设置有安装孔，安装孔上侧和下侧分别连接有第一移载臂(15)和第二移载臂(16)，第一移载臂(15)具有第一驱动机构，第二移载臂(16)具有第二驱动机构，第一移载臂(15)前端转动连接有第一承载支架(17)，第一承载支架(17)上设置有真空吸盘(2)，第二移载臂(16)前端转动连接有第二承载支架(18)，第一承载支架(17)上也设置有真空吸盘；真空吸盘(2)包括主体部(23)、连接部(26)以及吸盘部(27),主体部(23)与连接部(26)通过紧固螺钉(29)固定连接，吸盘部(27)紧密套设在连接部(26)上，主体部(23)外部还连接有真空管路(21)；主体部(23)为中空结构，其内部设置有固定件(24)，固定件(24)下部具有托举件(25)，固定件(24)包括球头和设置在球头上部的管状部，球头和管状部均设置有通路，管状部穿出主体部(23)与真空管路(21)通过卡箍(22)密闭连接，球头内部的通路向外延伸并与穿过连接部(26)的真空吸管(20)连接，真空吸管(20)的末端位于吸盘部(27)内，吸盘部(27)的内表面为波浪状，吸盘部(27)的外部为喇叭状；吸盘部(27)的边缘还设置有除静电网(28)。