[实用新型]快抽速且低能耗的真空高阀

摘要

本实用新型公开了一种快抽速且低能耗的真空高阀，包括阀体、气缸和阀罩盖，阀体上设有真空容器连接口、预抽真空阀连接口和高真空泵连接口，真空容器连接口经阀体内与预抽真空阀连接口连通；阀体上设置气缸，气缸的气缸轴伸入到阀体内，气缸轴设有阀罩盖，阀罩盖朝向真空容器连接口；阀体内顶壁固定设有遥控风扇；预抽真空阀连接口至少设有两个，且都设置在圆柱形阀体外表面的同一母线上。本实用新型通过不同真空度的多个预抽真空阀的设置，在抽真空初始由于越靠近真空泵真空度越高，因此阀体内空气除了向预抽真空阀运动外还具备向下运动的趋势，协助推动抽真空过程，使得抽真空更迅速，达到同样的真空度时能耗较以前的技术方案低。

主权项

快抽速且低能耗的真空高阀，其特征在于，包括阀体、气缸和阀罩盖，所述阀体内为中空结构，阀体上设有真空容器连接口、预抽真空阀连接口和高真空泵连接口，所述真空容器连接口经所述阀体内与所述预抽真空阀连接口连通；所述阀体上设置所述气缸，气缸与所述阀体连接处密封连接；所述气缸的气缸轴伸入到所述阀体内，气缸轴设有阀罩盖，所述阀罩盖朝向所述高真空泵连接口，能在所述气缸轴驱动下关闭或打开所述高真空泵连接口；所述阀体内顶壁固定设有遥控风扇，阀体上设有允许红外线穿透的窥视窗，窥视窗的材质采用玻璃；所述预抽真空阀连接口至少设有两个，且都设置在圆柱形阀体外表面的同一母线上。