[实用新型]一种激光三角位移传感器

摘要

本实用新型公开了一种激光三角位移传感器，属于光电测量技术领域、包括半导体激光器、聚焦透镜组、接收透镜组、光电探测器和信号处理电路，半导体激光器和聚焦透镜组共轴，与被测目标依次排列，共同组成发射端，接收透镜组和光电探测器依次排列，信号处理电路和光电探测器相连，用于对光电探测器接收的电信号进行处理并得到被测物体的位移。本实用新型中的激光三角位移传感器具有非常高的位移测量精度，不仅能对普通散射物体的位移进行测量，而且能够测量镜面反射物体的位移，同时，本实用新型在接收透镜组中，对透镜使用了倾斜或偏心的处理，从原理上修正了激光三角测距传感器的非线性误差，为改善其分辨率的不均匀问题提供了一个经济有效的方法。

主权项

一种激光三角位移传感器，包括半导体激光器(1)、发射透镜组、接收透镜组、光电探测器(15)和信号处理电路；所述半导体激光器(1)与发射透镜组以共轴方式依次排列，位于被测物体的前端，形成发射端；所述接收透镜组、光电探测器(15)设置于反射端，反射端与发射端处于同一平面内，且信号处理电路与光电探测器(15)相连，其特征在于，所述半导体激光器(1)发射的激光束经过发射透镜组聚焦后，斜射入被测物体的三个位置A0、B0和C0(5，6，7)，且位置A0、B0和C0(5，6，7)反射和散射的光线经过接收透镜组接收后，照射在光电探测器(15)上相对应的光斑位置A1、B1和C1(16，17，18)。