[实用新型]一种用于石英坩埚的喷涂设备及其喷头有效
申请号: | 201620884985.3 | 申请日: | 2016-08-12 |
公开(公告)号: | CN205887233U | 公开(公告)日: | 2017-01-18 |
发明(设计)人: | 徐晓军;朱国平;舒晓峰;季军 | 申请(专利权)人: | 江阴龙源石英制品有限公司 |
主分类号: | B05B1/14 | 分类号: | B05B1/14;B05B1/30;C03C17/22 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214400 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于石英坩埚的喷涂设备及其喷头,旨在提供一种方便调节喷涂功率的喷头,其技术方案要点是包括喷涂管和输送管道,喷涂管内设有包括通液区和阻液区的网片,输送管内设有与阻液区形状一致的挡片,当需调节喷头的喷涂效率时,转动喷液管,喷液管的转动带动喷液管上网片的转动,网片的转动使网片与挡片产生相对运动,因而挡片遮住通液区的面积产生变化,当遮住的面积增大时,整个通液区的面积逐渐变小,喷头的喷涂效率降低;当遮住的面积减小时,整个通液区的面积逐渐增大,喷头的喷涂效率增加。从而使得喷头具有方便调节喷涂功率的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 石英 坩埚 喷涂 设备 及其 喷头 | ||
【主权项】:
一种喷头,包括用于输送涂层液的输送管道(1)、连接于输送管道(1)且与输送管道(1)同心同轴的喷液管(2),喷液管(2)内设有出液管道,其特征在于:所述的喷液管(2)密封转动连接于输送管道(1),输送管道(1)内靠喷液管(2)一侧固定有与自身同轴的挡片(4),喷液管(2)的一端固定有与自身同轴且与挡片(4)相抵触的网片(3),网片(3)包括沿自身圆周方向间隔设置的阻液区(31)和通液区(32),通液区(32)包括若干设于网片(3)上的通液孔(321),挡片(4)与阻液区(31)的形状相一致。
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