[实用新型]一种光阻供应系统有效
| 申请号： | 201620829127.9 | 申请日： | 2016-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN205880498U | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215301 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光阻供应系统，其特征在于，所述光阻供应系统包括：光阻瓶，包括光阻内袋、进气口、出液管；缓冲罐；输入管道，所述输入管道与所述光阻瓶的出液管相连；输出管道，所述输出管道位于所述缓冲罐下方；排气管道，所述排气管道位于所述缓冲罐上方；其中，所述输入管道为U型，所述排气管道与抽气装置相连，所述抽气装置在所述缓冲罐光阻液面上形成负压，U型输入管道，使光阻以更小的流速更稳定的状态流入缓冲罐，利于光阻静置排出气泡，同时减小对已静置光阻的冲击影响，抽气装置在缓冲罐光阻液面上形成负压，使光阻中的气泡更快更全面从光阻中排出。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 供应 系统 | ||
【主权项】：
一种光阻供应系统，其特征在于，所述光阻供应系统包括：光阻瓶(100)，包括光阻内袋(101)、进气口(102)、出液管(103)；缓冲罐(300)；输入管道(301)，所述输入管道(301)与所述光阻瓶(100)的出液管(103)相连；输出管道(302)，所述输出管道(302)位于所述缓冲罐(300)下方；排气管道(303)，所述排气管道(303)位于所述缓冲罐(300)上方；其中，所述输入管道为U型，所述排气管道(303)与抽气装置相连，所述抽气装置在所述缓冲罐(300)内形成负压。
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