[实用新型]空气流量传感器有效
| 申请号： | 201620788885.0 | 申请日： | 2016-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN205843739U | 公开（公告）日： | 2016-12-28 |
| 发明（设计）人： | 缪建民;陈欣悦 | 申请（专利权）人： | 上海微联传感科技有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/69 | 分类号： | G01F1/69 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 孟金喆;胡彬 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种空气流量传感器。其中，所述空气流量传感器包括：半导体衬底；在所述半导体衬底上面设有隔热的绝缘层；在所述绝缘层上依次设有环境空气测温电阻、上游测温电阻、发热电阻和下游测温电阻；分别与所述环境空气测温电阻、上游测温电阻、发热电阻和下游测温电阻独立连接的多个端子电极；其中，将所述半导体衬底对应所述上游测温电阻、发热电阻和下游测温电阻的区域作为空气流量测量区，所述半导体衬底对应所述流量测量区的底部具有空腔，在所述空腔内设有支撑结构。本实用新型不仅解决了在恶劣环境下，空气流量传感器受外界颠簸而易损坏的问题，还解决了现有空气流量传感器的测量范围和精度无法匹配汽车设计需要的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 空气 流量传感器 | ||
【主权项】：
一种空气流量传感器，其特征在于，包括：半导体衬底；在所述半导体衬底上面设有隔热的绝缘层；在所述隔热绝缘层上依次设有环境空气测温电阻、上游测温电阻、发热电阻和下游测温电阻；分别与所述环境空气测温电阻、上游测温电阻、发热电阻和下游测温电阻独立连接的多个端子电极；其中，将所述半导体衬底对应所述上游测温电阻、发热电阻和下游测温电阻的区域作为流量测量区，所述半导体衬底对应所述流量测量区的底部具有空腔，在所述空腔内设有支撑结构。
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