[实用新型]一种体声波传感器读出电路

摘要

本实用新型公开了一种体声波传感器读出电路，包括BAW振荡器和频率检测电路；BAW振荡器包括FBAR和其他基本电路元件，FBAR和基本电路元件通过Pierce拓扑结构连接；频率检测电路包括六端口网络、四个功率计和标准负载，BAW振荡器的输出端口与六端口网络的端口一连接，标准负载与六端口网络的端口二连接，四个功率计分别与六端口网络的其他四个端口连接；BAW振荡器为频率检测电路提供射频输入信号；六端口网络的系统参数是通过在端口一连接到射频源，在端口二换四个不同标准负载以测得不同频率对应的功率计读数和反射系数所得；本实用新型可用于BAW振荡器频率检测和BAW传感器读出电路，结构简单、易集成和实时性高。

主权项

一种体声波传感器读出电路，其特征在于：包括BAW振荡器（19）和频率检测电路（20）；BAW振荡器（19）包括薄膜体声波谐振器FBAR（1）和其他基本电路元件，薄膜体声波谐振器FBAR（1）和其他基本电路元件通过Pierce拓扑结构进行连接；所述频率检测电路（20）包括六端口网络（13）、四个功率计和标准负载（18），BAW振荡器（19）的输出端口与六端口网络（13）的端口一（24）连接，标准负载（18）与六端口网络（13）的端口二（25）连接，四个功率计包括P1功率计（14）、P2功率计（15）、P3功率计（16）和P4功率计（17），四个功率计分别与六端口网络（13）的余下的四个端口连接。