[实用新型]挑拣装置有效
申请号: | 201620773246.7 | 申请日: | 2016-07-21 |
公开(公告)号: | CN205900510U | 公开(公告)日: | 2017-01-18 |
发明(设计)人: | 王之奇 | 申请(专利权)人: | 苏州晶方半导体科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B07B13/14 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 高静,吴敏 |
地址: | 215021 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种挑拣装置,包括第一置晶盘,所述第一置晶盘具有用于放置待挑拣晶粒的第一面;第二置晶盘,所述第二置晶盘具有用于放置已挑拣晶粒的第二面,所述第二面与所述第一面相对设置;挑拣机构,所述挑拣机构包括旋转部件以及与所述旋转部件相连的挑拣部件,其中,所述旋转部件绕旋转中心旋转,所述挑拣机构在进行挑拣工作时,所述旋转中心位于所述第一面与第二面之间,且所述挑拣部件经所述旋转部件的旋转在所述第一面与第二面之间移动。本实用新型提高晶粒挑拣效率,减小晶粒在挑拣工作中受到污染的概率。 | ||
搜索关键词: | 挑拣 装置 | ||
【主权项】:
一种挑拣装置,其特征在于,包括:第一置晶盘,所述第一置晶盘具有用于放置待挑拣晶粒的第一面;第二置晶盘,所述第二置晶盘具有用于放置已挑拣晶粒的第二面,所述第二面与所述第一面相对设置;挑拣机构,所述挑拣机构包括旋转部件以及与所述旋转部件相连的挑拣部件,其中,所述旋转部件绕旋转中心旋转,所述挑拣机构在进行挑拣工作时,所述旋转中心位于所述第一面与第二面之间,且所述挑拣部件经所述旋转部件的旋转在所述第一面与第二面之间移动。
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