[实用新型]硅烷充装装置有效
申请号: | 201620741163.X | 申请日: | 2016-07-14 |
公开(公告)号: | CN205956752U | 公开(公告)日: | 2017-02-15 |
发明(设计)人: | 曾庆腾;许召文 | 申请(专利权)人: | 合肥正帆电子材料有限公司 |
主分类号: | F17C5/06 | 分类号: | F17C5/06;F17C13/00 |
代理公司: | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙)33240 | 代理人: | 王桂名 |
地址: | 230000 安徽省合肥*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型涉及硅烷的充装设备,具体涉及一种硅烷充装装置。包括用于硅烷输送的压缩机,压缩机的输出端通过充装管道连接至分流管道输入端,分流管道的输出端设置充装排,所述的充装排与硅烷钢瓶相接,所述的充装管道与所述的充装排上均设置减震单元,所述的减震单元为呈螺旋弹簧状式的管道。设置的减震单元是利用了弹簧减震的原理,将压缩机的震动通过充装管道上的减震单元进行一级减震,再通过充装排上的减震单元进行二级减震,进而对压缩机的振动传递进行削弱,减小充装排以及充装管道的振动,避免充装排以及充装管道的管线接头的松动,进而保证硅烷充装车间的安全。 | ||
搜索关键词: | 硅烷 装置 | ||
【主权项】:
一种硅烷充装装置,包括用于硅烷输送的压缩机(10),压缩机(10)的输出端通过充装管道(20)连接至分流管道(30)输入端,分流管道(30)的输出端设置充装排(40),所述的充装排(40)与硅烷钢瓶(50)相接,其特征在于:所述的充装管道(20)与所述的充装排(40)上均设置减震单元(60),所述的减震单元(60)为呈螺旋弹簧状式的管道。
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