[实用新型]用于检测气体分配盘的治具有效
| 申请号： | 201620717458.3 | 申请日： | 2016-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN205785004U | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 刘先兵 | 申请（专利权）人： | 苏州珂玛材料技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/12 | 分类号： | G01B5/12 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司32243 | 代理人： | 顾伯兴 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于检测气体分配盘的治具，包括若干个陶瓷柱和一陶瓷条，该若干个陶瓷柱通过螺纹安装于陶瓷条上，且陶瓷柱的一半位于陶瓷条的上方，陶瓷条的另一半位于陶瓷条的下方，相邻两个陶瓷柱之间的中心距等于气体分配盘上的相邻通孔之间的中心距，陶瓷柱的位于陶瓷条上方的部分的直径等于气体分配盘的通孔直径的上限值，陶瓷柱的位于陶瓷条下方的部分的直径等于气体分配盘的通孔直径的下限值，陶瓷柱的上部和下部的长度均大于气体分配盘的厚度。该治具利用陶瓷柱对气体分配盘上的通孔进行一一检测，使用很方便，可以重复使用，且检测效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检测 气体 分配 | ||
【主权项】：
一种用于检测气体分配盘的治具，其特征在于：包括若干个陶瓷柱和一陶瓷条，该若干个陶瓷柱通过螺纹安装于陶瓷条上，且陶瓷柱的一半位于陶瓷条的上方，陶瓷柱的另一半位于陶瓷条的下方，相邻两个陶瓷柱之间的中心距等于气体分配盘上的相邻通孔之间的中心距，陶瓷柱的位于陶瓷条上方的部分的直径等于气体分配盘的通孔直径的上限值，陶瓷柱的位于陶瓷条下方的部分的直径等于气体分配盘的通孔直径的下限值，陶瓷柱的上部和下部的长度均大于气体分配盘的厚度。
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