[实用新型]一种板式PECVD设备有效
| 申请号： | 201620665486.5 | 申请日： | 2016-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN205790037U | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 袁中存;党继东 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;C23C16/34;C23C16/455 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 张海英;林波 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种板式PECVD设备，包括石墨框、以及设置于所述石墨框的上方的特气管路，所述石墨框包括内部中空的石墨边框，所述石墨边框的内部设有若干个承载硅片的方格孔，对应于同一行的多个所述方格孔的所述特气管路包括位于同一行且间隔设置的多个子特气管路，多个所述子特气管路分别独立供气。该板式PECVD设备，能够便于调整列间膜厚/折射率的差异，提高石墨框内各列间电池片的膜厚/折射率均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 板式 pecvd 设备 | ||
【主权项】：
一种板式PECVD设备，包括石墨框、以及设置于所述石墨框的上方的特气管路(3)，其特征在于，所述石墨框包括内部中空的石墨边框(1)，所述石墨边框(1)的内部设有若干个承载硅片的方格孔(2)，对应于同一行的多个所述方格孔(2)的所述特气管路(3)包括位于同一行且间隔设置的多个子特气管路，多个所述子特气管路分别独立供气。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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